Metoda doboru pompy próżniowej
Wybierając pompę próżniową należy zwrócić uwagę na następujące kwestie:
1. Ciśnienie robocze pompy próżniowej powinno spełniać najwyższe wymagania dotyczące próżni i ciśnienia roboczego urządzeń próżniowych. Na przykład powlekanie próżniowe wymaga stopnia podciśnienia 110-5mmHg, a stopień podciśnienia wybranej pompy próżniowej powinien wynosić co najmniej 510-6mmHg. Zwykle stopień podciśnienia pompy dobiera się tak, aby był o połowę do rzędu wielkości wyższy niż stopień podciśnienia urządzenia podciśnieniowego.
2. Prawidłowo wybrać punkt pracy pompy próżniowej. Każda pompa ma określony zakres ciśnienia roboczego, np.: pompa dyfuzyjna to 10-3~10-7mmHg, w tak szerokim zakresie ciśnień prędkość pompowania zmienia się wraz z ciśnieniem, a jej stabilna praca zakres ciśnienia wynosi 510-4 ~510-6mmHg. Dlatego punkt pracy pompy powinien być wybrany w tym zakresie i nie może pracować przez długi czas poniżej 10-8mmHg. Innym przykładem jest to, że tytanowa pompa sublimacyjna może pracować poniżej 10-2mmHg, ale jej ciśnienie robocze powinno być mniejsze niż 110-5mmHg.
3. Pod ciśnieniem roboczym pompa próżniowa powinna być w stanie usunąć cały gaz wytwarzany w procesie urządzenia próżniowego. 4. Prawidłowo połączyć pompę próżniową. Ze względu na selektywne pompowanie pomp próżniowych, czasami jeden typ pompy nie może spełnić wymagań pompowania, a kilka pomp musi być połączonych, aby się wzajemnie uzupełniać, aby spełnić wymagania pompowania. Na przykład tytanowa pompa sublimacyjna ma wysoką prędkość pompowania wodoru, ale nie może pompować helu, podczas gdy trójbiegunowa pompa do napylania jonów (lub dwubiegunowa pompa do napylania jonów z asymetryczną katodą) ma określoną prędkość pompowania argonu. W połączeniu urządzenie próżniowe uzyska lepszy stopień próżni. Ponadto niektóre pompy próżniowe nie mogą pracować pod ciśnieniem atmosferycznym i wymagają próżni wstępnej; niektóre pompy próżniowe mają ciśnienie wylotowe niższe niż ciśnienie atmosferyczne i wymagają pompy wstępnej, więc wszystkie muszą być używane w połączeniu.
5. Wymagania dotyczące zanieczyszczenia olejami urządzeń próżniowych. Jeśli sprzęt musi być bezolejowy, należy wybrać różne pompy bezolejowe, takie jak: pompa z pierścieniem wodnym, pompa adsorpcyjna z sitem molekularnym, pompa do rozpylania jonów, pompa kriogeniczna itp. Jeśli wymagania nie są surowe, należy może wybrać pompę olejową, a ponadto pewne środki zapobiegające zanieczyszczeniu olejem, takie jak dodawanie wymrażarek, przegród, pułapek olejowych itp., mogą również spełniać wymagania czystej próżni.
6. Zrozum skład pompowanego gazu, czy gaz zawiera kondensującą się parę, czy jest pył cząsteczkowy, czy jest żrący itp. Wybierając pompę próżniową, musisz znać skład gazu i wybrać odpowiednią pompę dla przepompowywany gaz. Jeżeli gaz zawiera opary, cząstki i gazy żrące, należy rozważyć zainstalowanie na rurociągu wlotowym pompy urządzeń pomocniczych, takich jak skraplacze, odpylacze itp.
7. W jaki sposób opary oleju odprowadzane z pompy próżniowej wpływają na środowisko? Jeśli środowisko nie pozwala na zanieczyszczenie, możesz wybrać bezolejową pompę próżniową lub odprowadzić opary oleju na zewnątrz.
8. Czy wibracje generowane przez pompę próżniową mają jakikolwiek wpływ na proces i środowisko. Jeśli proces na to nie pozwala, wybierz pompę bez wibracji lub zastosuj środki antywibracyjne.
9. Cena, koszty eksploatacji i konserwacji pompy próżniowej.